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空調制冷真空箱氦測漏設備廠家供應「多圖」
2021-06-18






氦質譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理,希望對您有所幫助!

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點,利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號,而對其他氣體沒有響應,從而檢漏。








氦質譜檢漏儀

北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀的應用拓展二電力行業(yè)SF6高壓開關和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分,往往因泄漏造成大面積或局部停電,影響工業(yè)生產,又妨礙人們的正常生活。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。

2、氦的質量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現,靈敏度高。

3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。

4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。3)電力行業(yè)中,電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀,用不同方法進行檢漏。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。

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